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真空度测试仪的相关知识

真空度测试仪的相关知识真空度测试仪的相关知识真空度测试仪的相关知识 真空度测试仪是电力系统中普遍使用的高压电气,是用来鉴定真空灭弧室真空度的设备,其原理是以磁

控放电,以单片机为主控单元,并且在测试过程完全实现自动化。真空度测试仪的主要作用是,根据磁控放电的方

法测量真空泡内离子电流,以此量测量泡内真空度,并可用于评定真空泡使用寿命。研制的测试仪可用于测量泄漏

电流、全电流和离子电流3个电流值。
      

        (1)泄漏电流。将真空泡动静触头拉开一定的间距,并加高压直流脉冲电压,则会在两触头间、触头和屏蔽

罩间产生强电场。根据场致发射理论,阴极和屏蔽罩表面会发射出电子,向阳极运动,形成电流,即泄漏电流。由于

电子的自由行程远远大于两触头间距,电子几乎不与真空泡内残余气体分子发生碰撞,所以泄漏电流不能正确反应

真空泡的真空度。
      

         (2)全电流。为了使泄漏电流的电子能够与残余气体分子发生碰撞,目前常用的方法是在轴向上加上一个

较强的磁场,使得发射的电子在电场和磁场的共同作用下发生螺旋运动,这样就加大了电子运动的行程及与残余气

体分子发生碰撞的概率。电子与残余气体分子发生碰撞后会产生电离现象,并形成稳定的自持放电,这时测量出的

流值即为全电流值。
      

         (3)离子电流。全电流的测量值包括了阴极和屏蔽罩发射的泄漏电流,以及残余气体被碰撞后产生电离的

离子电流。为了准确测量真空泡内的真空度,还得从全电流中减掉泄漏电流值,得到的才是真正反映真空泡真空度

的离子电流值。真空泡使用寿命评定原理:真空泡随着正常使用时间的增长,内部真空度也呈线性增加。通过测定

两个间隔时间比较恰当时的真空度,就可确定其变化率,从而确定使用过任意时间后真空泡真空度的大小。